名古屋大学との共同研究成果がScientific Reportsに掲載され、同大学が2023年7月6日に発表しました。論文著者はYusuke Tosa、Ryo Omae、Ryohei Matsumoto、Shogo Sumitani、Shunta Haradaです。
現場の操作を、学習できる数理モデルへ
熟練者の操作データからFZ結晶成長の状態変化をモデル化し、強化学習で操作条件を計算する方法を提案しました。2023年の成果は、ネッキング工程をシミュレーションで検証した研究です。実機での検証に向けた開発を進めていると、大学の発表で紹介されています。
出典:名古屋大学の研究成果発表 / Scientific Reports掲載論文
2025年には、実機実験の成果を発表
後続の共同研究は、2025 MRS Fall Meetingで実際の結晶成長炉による実験成果を発表する段階へ進んでいます。実機での研究発表を読む
当時の報道・紹介記事
この度、名古屋大学との研究内容が複数のメディアに掲載されましたので、お知らせいたします。
①日刊工業新聞様
②NIKKEI Tech Foresight様
名古屋大学などの研究チームは、製造プロセスの自動化に向けたAI(人工知能)制御アルゴリズムを開発した。半導体シリコンウエハーの製造法である浮遊帯域溶融(FZ)法による結晶成長プロセスの自動化をシミュレーションで実証した。製造の安定化や工場の省人化につながる研究成果となる。京都大学発スタートアップで製造業向けAIソフトウエアを手掛けるAnamorphosis Networks(アナモルフォーシス
③OPTRONICS ONLINE様
名古屋大学と外観検査自動化の京大発AIベンチャー企業であるAnamorphosis Networksは,製造プロセスの自動化を実現するAI制御アルゴリズムを開発した(ニュースリリース)。 AI技術は,自動運転からロボット制御まで,多くの分野
④EE Times Japan様
